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TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II
Electro-Damp®是第一款專(zhuān)門(mén)用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統。Electro-Damp II是對原始系統的*全重新設計，增加了模塊化、數字控制、前饋、高力/高間隙執行器以及多個(gè)專(zhuān)門(mén)設計用于OEM應用（如顯微光刻、檢測和計量工具）的數字用戶(hù)界面。
半導體制造工具對其隔振系統提出了相互矛盾的要求。為了應對地面噪音，系統必須足夠柔軟，以有效地過(guò)濾地面振動(dòng)，阻止其到達隔振表面。同時(shí)，系統必須足夠堅硬，以應對工作臺的力，以便工作臺運動(dòng)使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩定。
除了采用慣性、主動(dòng)反饋阻尼之外，Electro-Damp II還使用信息前饋來(lái)進(jìn)一步改善系統響應。前饋從工作臺控制器獲取關(guān)于工作臺位置和加速度的信息，然后處理這些數據，以向有效載荷提供力驅動(dòng)，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運動(dòng)。系統可以以數字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過(guò)讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數字控制器還可以使用工作臺測試模式自動(dòng)調整前饋所需的參數。這使得在初始安裝時(shí)或在更改有效載荷之后能夠快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行設置。
Electro-Damp II的模塊化設計允許系統單獨與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應用，如CMM）、只與電磁驅動(dòng)一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結合使用（適用于*苛刻的應用）。
TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II特點(diǎn)
●六自由度主動(dòng)減振系統
●非接觸式電子高度控制
●數字控制器
●前饋輸入校正由工作臺引起的有效載荷運動(dòng)
●高力電磁執行器可單獨提供或被集成在系統中
●減少有效載荷運動(dòng)和由工作臺引起的運動(dòng)的穩定時(shí)間
●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量
●模塊化設計允許用戶(hù)*定一個(gè)完整的單元或組件，以便OEM集成
●自動(dòng)調整前饋參數以減少設置
規格
通用 | |
穩定時(shí)間 | 0.2秒** |
主動(dòng)自由度 | 6 |
高度控制精度 | < 10 µm at sensorsd> |
線(xiàn)性執行器（水平和垂直） | |
直流電阻 | 5 Ω |
力常數 | 高達12磅/安 | 55牛/安 |
最大連續力 | 25磅| 110牛 |
峰值力@ 7 A | 87磅| 385牛 |
電氣時(shí)間常數 | 2.6毫秒 |
行程 | 0.25英寸 | 6.4毫米 |
橫向間隙 | 0.09英寸 | 2.3毫米 |
雜散場(chǎng) | < 1 G @ 2 in.d> |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 2.8 x 6.8 x 4.5英寸 |
閥門(mén)（僅限主動(dòng)） | |
閥門(mén)類(lèi)型 | 比例E/V伺服 |
控制類(lèi)型 | 壓力或氣流 |
最大流量 | 1.5 SCFM |
耗氣量（4個(gè)隔振器） | < 2 SCFM (no stage motion)d> |
- 3 dB響應 | ≤10 Hz（典型值）。 |
高度控制傳感器 | |
輸入 | 非接觸式感應（渦流） |
電子配置 | 雙線(xiàn)式NAMUR |
范圍 | 標稱(chēng)15毫米，用于30毫米電線(xiàn) |
分辨率 | < 1 µmd> |
被動(dòng)氣動(dòng)安裝座 | |
標準承重能力 | 1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI |
阻尼（10:1） | < 3 sd> |
DC-2020數字控制器 | |
處理器 | 雙核： |
模擬I/O | 32/24通道（16/16位） |
采樣率 | 標稱(chēng)值為5 kHz |
前面板 | 電源開(kāi)關(guān) |
后面板 | 電源輸入 |
用戶(hù)界面 | 通過(guò)USB或以太網(wǎng)的GUI |
電源 | 90-240 VAC，50-60 Hz，最大100 W |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 16.8 x 9.0 x 1.75英寸 |
功率放大器 | |
通道 | 8 |
每個(gè)通道的最大電流 | 7 A |
輸入 | 線(xiàn)性 |
峰值功率 | 總共700瓦 |
冷卻 | 環(huán)境，強制通風(fēng) |
保護 | 可復位保險絲、電子熱保護、過(guò)流、欠壓 |
操作 | 遙控或手動(dòng) |
尺寸 | 1 RETMA機架單元高度 x 15英寸（381毫米）深 |
應用說(shuō)明
Electro-Damp®
在Precitech的Freeform L超精密機床上使用PEPS II-VX進(jìn)行3軸（XYZ）測量
